天眼查App显示，2025年6月24日，《一种光栅曝光系统》正式进入专利的公布阶段。申请人为浙江水晶光电科技股份有限公司，该项摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕专利涉及光栅制造技术领域。据专利信息显示，该系统通过在掩膜版上设置第一体全息光栅和第二体全息光栅，对光源组件发出的第一入射光和第二入射光进行衍射处理，从而实现对基板的高效曝光，在稳定性、衍射效率方面取得突破性进展。发明人为金戈、金凤明、段守恒、杨鑫、冯东洋、刘风雷。本申请提供的光栅曝光系统基于体全息光栅结构，具备低成本、大尺寸、大批量制造的优势。

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