天眼查App显示,2025年6月24日,《一种基于外延工艺的具高电阻均匀性压力芯片及压力传感器》专利正式进入专利权的授权阶段。申请人为深圳安培龙科技股份有限公司,该项传感技术专利涉及压力芯片及传感器设计领域。据专利信息显示,该发明通过优化导电层结构与电阻条分布形式,显著提升电阻均匀性与温度稳定性,有效解决因蚀刻厚度不均和掺杂波动造成的测量精度问题。发明人为陈君杰、楚国富、李嘉欣、周逸飞。本发明公开的压力芯片包括单晶硅基底层、外延沉积生长的导电层及焊盘层;采用光刻和刻蚀工艺制备多个电阻条组成双M型对称结构,搭成惠斯通电桥,以增加电阻路径长度并均匀应力分布,从而提高灵敏度和抗干扰能力。
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