天眼查App显示，2025年6月27日，北京屹唐半导体科技股份有限公司的「微波退火设备」专利正式进入专利公布阶段。申请人为北京屹唐半导体科技股份有限公司，该项半导体设备专利涉及微波装置、旋转夹持结构及温度检测技术在半导体制造中的应用。据专利信息显示，该设备通过带传动组件带动支撑组件及半导体工件旋转，使加热速度更快且温度分布更均匀，技术效果提升达显著优化。发明人为龙小宝、刘春峰、韩永富、刘鹏。本公开提供一种微波退火设备，包括腔室基体、微波装置、旋转夹持装置和温度检测装置，能够对半导体工件进行高效退火处理。

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