天眼查App显示，2025年7月1日，《炉管设备》专利正式进入专利公布阶段。申请人为盛美半导体设备（上海）股份有限公司、盛帷半导体设备（上海）有限公司、盛美半导体设备韩国有限公司、清芯科技有限公司，该项半导体设备专利涉及炉管设备技术领域。据专利信息显示，该设备通过第一抽气端口与工艺空间直接连通，第二抽气端口与间隙区域直接连通，能够更快排出气体，从而提高生产效率。发明人为张大海、王晖、王坚、周冬成、贾社娜、刘权、金泳律、全鍾赫。本发明公开了一种炉管设备，其包括内管、外管、第一抽气端口和第二抽气端口，内管的内部形成工艺空间，外管套设于内管的外部，外管与内管之间存在间隙区域，内管上设置有排气口，以使工艺空间与间隙区域连通，在工艺过程中，能够更快的排出气体，从而提高炉管设备的生产效率。

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