天眼查App显示，2025年07月02日，中国科学院上海硅酸盐研究所在上海市发布超高真空磁控溅射沉积系统中标公告。该项目最终由“中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司”以中标金额380.000000万元人民币成功中标。此次公告类型为中标结果，采购内容为货物/设备/机械设备/真空获得及应用设备/真空应用设备类别中的超高真空磁控溅射沉积系统。

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