天眼查App显示,2025年7月8日,「晶圆缺陷检测的预处理方法及相关产品」正式进入专利的公布阶段。申请人为东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,该项基本电气元件专利涉及晶圆制造过程中的缺陷检测技术领域。据专利信息显示,该方法通过对金属层版图的外轮廓进行扩充、分割及聚类分组,并将结果输入数据库缺陷检测系统,显著优化了检测精度。发明人为张舒行、鄢昌莲。摘要中指出,本发明通过基于矩形单元几何特征的内聚类分组策略,提升了晶圆缺陷识别的准确性与效率。
免责声明:本文内容由开放的智能模型自动生成,仅供参考。