天眼查App显示，2025年7月8日，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请的「一种调平装置及半导体处理设备」专利正式进入专利权授权阶段。该项半导体设备领域的实用新型专利涉及半导体制造中的加热器水平度调节技术，据摘要信息显示，其通过差动调节件、固定块与连接件协同作用，提高对加热器水平度调节精度并防止偏移，实现突破性进展。发明人为马化韬、吴红星、龚岳俊，代理机构为上海元好知识产权代理有限公司。

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