天眼查App显示，2025年7月11日，「工件载台及半导体检测设备」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，该项机械工具专利涉及半导体制造设备领域中的工件载台结构设计。据专利信息显示，该方案通过共用驱动机构实现升降组件与顶升组件的精准协同运行，使结构更简单、传动更顺畅。发明人为董金辉、米涛。本申请提供了一种工件载台，包括升降组件、顶升组件、换向组件和驱动机构；其中传动件与升降斜面及顶升斜面抵接，线性驱动件连接传动件并驱动方向与导向方向相交，从而实现多自由度的协调运动控制。

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