天眼查App显示，2025年7月11日，《确定工件台老化状态的方法及相关产品》正式进入专利的公布阶段。申请人为东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，该项测量测试专利涉及通过累计移动距离判断工件台老化状态的技术方案。据专利信息显示，该方法基于不同时间戳下的坐标值与移动距离数据，可提升确定工件台老化状态的准确性，实现对工件台性能变化的精准监测。发明人为邢举。本申请公开了一种确定工件台老化状态的方法及相关产品，上述方法包括：在工件台上电的情况下，获取工件台第一时间戳下的第一坐标值、第二时间戳下的第二坐标值和第二时间戳下的第一累计移动距离值，其中，工件台的坐标值基于工件台发送的信号确定；基于第一坐标值、第二坐标值和第一累计移动距离值确定工件台在第一时间戳的第二累计移动距离值；在第二累计移动距离值大于或等于预设值的情况下，确定工件台进入老化状态，基于累计距离确定工件台的老化状态，可以提升确定工件台的老化状态的准确性。

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