天眼查App显示，2025年7月11日，「芯片清洁装置」正式进入专利权的授权阶段。申请人为浙江大立科技股份有限公司，该项基本电气元件专利涉及芯片制造与封装过程中的表面污染物清除场景。据专利信息显示，该装置通过清洁吸头、连接器与真空集尘组件建立起真空通道，不仅为整个清洁装置提供稳定真空吸力，还实现对吸入颗粒污染物的高效收集与过滤，确保清洁过程彻底且环保，避免二次污染。发明人为许献美、李衍晓、钱剑、潘峰、吴高军、姜骥、姜利军。本实用新型技术方案有效提升了芯片表面洁净度控制水平，具有显著优化的工业应用价值。

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