天眼查App显示,2025年7月11日,「氧化铈颗粒及其制备方法和研磨用组合物」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为武汉鼎泽新材料技术有限公司,鼎泽(仙桃)新材料技术有限公司,湖北鼎龙新材料有限公司,湖北鼎龙控股股份有限公司,该项无机化学专利涉及纳米材料制备和半导体抛光技术领域。据专利信息显示,该氧化铈颗粒在研磨过程中具有较高的Oxide研磨速率和较低的OX表面缺陷,并保持SiN研磨速率不变,提高了OX/SiN选择比。发明人为张旭;肖桂林;胡怀志;刘子龙。本申请提供的氧化铈颗粒及其制备方法和研磨用组合物,包括:向含碳酸铈的溶液中滴加预设比例的过氧化氢,搅拌均匀后,将混合溶液加入到氨水中,得到Ce(OH)3/Ce(OH)4混合沉淀;将沉淀过滤洗涤,粉碎后在750℃下于预设气氛中煅烧2小时,得到一次粒径为30‑60nm的氧化铈颗粒,氧化铈颗粒中氧化铈(Ⅲ):(氧化铈(Ⅲ)+氧化铈(Ⅳ))的比例范围为40‑50%。
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