天眼查App显示，2025年7月15日，「晶圆装载杯、抛光单元、抛光方法和处理设备」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为华海清科股份有限公司，该项磨削；抛光专利涉及晶圆制造中的抛光处理场景。据专利信息显示，该技术通过集成清洁部与基座活动结构，实现抛光头在线、原位清洁，从而显著优化晶圆处理效率。发明人为沈德乾、王春龙、彭泽明、徐海洋。本发明的晶圆装载杯包括基座和清洁部，基座设有晶圆承载部与避让部，清洁部通过驱动装置实现清洁头在晶圆承载面附近移动，并结合清洗液路系统提高清洁效率。

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