天眼查App显示，2025年7月15日，「控制装置、干涉系统及方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司，该项测量测试专利涉及多通道干涉光路系统的控制与调节技术。据专利信息显示，该方案实现在不改变相位的前提下，同时独立调节多路光强，以适应不同测试平面的光强需求，更好满足实际应用要求，技术效果取得显著优化。发明人为陈鲁、鄂家骅、马砚忠、袁明波、郁健。本申请提供的控制装置包括n个通道干涉光路和算法单元，每个通道干涉光路包括输入光束、光功率稳定器及感光元件，输入光束耦合至光功率稳定器，经光功率稳定器进行光强调节后照射至待测样品，再反射至感光元件，感光元件生成感光反馈信号，算法单元根据感光反馈信号对光功率稳定器进行调节，且所述n个通道干涉光路入射至待测样品的位置至少部分不同。

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