天眼查App显示，2025年7月15日，深圳中科飞测科技股份有限公司的「一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司，该项计算专利涉及晶圆检测技术领域。据专利信息显示，该方法通过对目标晶圆进行暗场拍摄，获取该晶圆的表面暗场散射图像，并通过SNR估计图与双阈值分割原理，实现对缺陷区域的精准识别，在背景噪声较大动态范围、缺陷像素数量较少、缺陷信号较弱等条件下，仍能稳定检出缺陷和缺陷轮廓，技术效果取得显著优化。发明人为张龙、刘琦然、赵康俊、杜爽、吕肃、陈鲁。摘要显示，本发明在缺陷识别稳定性方面实现了突破性进展。

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