天眼查App显示,2025年7月15日,浙江华远微电科技有限公司申请的「一种膜厚测量治具」正式进入专利权授权阶段。该测试领域专利涉及膜厚测试技术应用场景,据专利信息显示,通过在膜厚测试区内设置台阶形成组件,使得衬底在镀膜的过程中形成金属台阶,并且在完成镀膜后可直接测试所制备的膜厚,有效缩短了检测时间,提前得到所需的膜厚,工作效率提升显著优化。发明人为杜武君、周翔。本实用新型通过设置封盖组件,可将部分台阶形成组件遮挡,从而避免不需要的金属台阶;同时,在异常检测区内设置台阶形成组件,可测试产品的膜厚分布情况。
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