天眼查App显示，2025年7月15日，「降低石英传感器件机械耦合误差的方法」正式进入专利权的授权阶段。申请人为泰晶科技股份有限公司，该项微观结构技术专利涉及石英传感器件制备领域。据专利信息显示，该方法通过侧面曝光与湿法腐蚀工艺，实现对石英传感器芯片侧壁晶棱的定点清除，从而显著降低机械耦合误差。发明人为阮翔宇、钟院华、廖翔、詹超、熊峰。本申请具有定点定位精确消除石英传感器芯片侧壁晶棱，降低石英传感器芯片机械耦合误差的效果。

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。