中微半导体设备公司发布2025年半年度业绩预告，预计上半年营业收入约49.61亿元人民币，同比增长43.88%；归属于母公司所有者的净利润预计为6.8亿元至7.3亿元，同比增长31.61%至41.28%。

第二季度营业收入预计约27.87亿元，同比增长约51.26%。过去14年中，公司营业收入年均增长超过35%，2025年第二季度在高基数背景下仍保持快速增长。

具体业务方面，上半年刻蚀设备收入增长40.12%，达到37.81亿元；LPCVD薄膜设备收入增长608.19%，达到1.99亿元。高端刻蚀设备在先进逻辑和存储器件制造中关键工艺实现大规模量产，成为主要增长动力。

公司持续加大研发投入，上半年研发投入达14.92亿元，同比增长53.70%，研发投入占营业收入比例为30.07%。目前在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备开发，新产品研发速度加快。

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