日本Rapidus启动2nm GAA试制,首块晶圆亮相

日本先进半导体制造商 Rapidus 正式宣布启动 2nm GAA(全环绕栅极)晶体管试制,并展示了其首块 2nm GAA 晶圆。

Rapidus 于 2023 年 9 月 1 日举行首座晶圆厂 IIM-1 的奠基仪式,2024 年 12 月完成洁净室准备,2025 年 4 月 1 日实现初始图案曝光与显影,2025 年 6 月建成由 200 多个制造单元构成的生产线。

Rapidus 正在开发与其 2nm 工艺兼容的 PDK,计划于 2026 年一季度前向客户交付,2nm 工艺量产计划仍定于 2027 年实现。

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