天眼查App显示,2025年7月22日,安徽立光电子材料股份有限公司的「一种用于磁控溅射镀膜的磁体装置及其制作方法」专利正式进入专利公布阶段。该项镀膜技术专利涉及磁控溅射镀膜领域,据专利信息显示,该装置通过调节磁棒底座与背板的距离来改变外围磁场强度,从而优化碰撞离化效果,实现膜层厚度可控,提升装置稳定性和可靠性,并降低生产成本。发明人为张继凡、朱磊、毛祖攀。本发明包括背板、磁棒底座和磁棒,磁棒底座设有3个水平卡槽对应放置磁棒,磁棒由方管、内置磁铁和固定塞组成,相邻磁棒磁极朝向相反,通过不锈钢方管封装磁铁防止受潮腐蚀,确保磁场稳定,且磁铁可重复利用。专利摘要指出,该技术在生产适用范围、装置稳定性和成本控制方面取得突破性进展。
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