天眼查App显示，2025年7月25日，「基板检测装置」正式进入专利的公布阶段。申请人为盛美半导体设备（上海）股份有限公司、盛帷半导体设备（上海）有限公司，该项半导体检测专利涉及基板支架中多个基板保持状态的自动检测场景。据专利信息显示，该装置通过光照部与拍摄部配合，结合存储部、搜索部及判断部实现对基板异常状态的快速识别，技术效果具备显著优化。发明人为刘宁、焦欣欣、李德鑫、吴均、王俊、王晖。专利摘要显示，该检测装置能够及时发现基板支架上有异常的基板，提升基板处理过程中的稳定性与安全性。

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。