天眼查App显示，2025年8月5日，「一种阳极液漏液检测方法及电镀设备」专利正式进入专利的公布阶段。申请人为盛美半导体设备（上海）股份有限公司，该项测量测试专利涉及电镀设备中的阳极液漏液检测场景。据专利信息显示，该方法通过实时监测阴极液中的颗粒含量，并与预设值进行对比，当颗粒含量大于预设值时判定发生漏液，从而及时发出提醒信号，显著优化漏液检测效率与芯片生产安全性。发明人为余齐兴、金一诺、刘林波、司生辉、黄金。本申请在阴极液的排液管路上设置监测装置，以实时监测阴极液中的颗粒含量，能够及时检测出漏液并发出提醒信号，避免了阳极液漏液至阴极腔后容易形成孔洞、导致芯片失效的问题。

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