天眼查App显示，2025年8月12日，「一种调度方法及相关装置」正式进入专利的公布阶段。申请人为北京北方华创微电子装备有限公司，该项机械手专利涉及晶圆在半导体工艺设备中的自动化调度场景。据专利信息显示，该方法通过优化调度逻辑，使得晶圆在完成下一个第一站点之前可跳过冗余站点，继续调度直至传回晶圆盒，提升后续补做工艺效率达显著优化水平。发明人为高龙达;杨园。本说明书实施例提供了一种调度方法，该方法可以保障在需要停止目标任务时，每个晶圆都可以在完成下一个第一站点之前可以完成的工艺之后，跳过第一站点，从而目标站点继续调度直至传回晶圆盒，在整个调度过程中，无需人为控制机械手调度目标任务的晶圆，避免了因人为控制机械手而影响其他任务的自动执行，降低半导体工艺设备的利用率的问题，同时返回晶圆盒的晶圆完成的工艺数量相同，无需人工对返回晶圆盒的晶圆进行分类，从而提升后续对传回晶圆盒中的晶圆补做工艺时的效率。

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