天眼查App显示,2025年8月12日,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司的「电子束倾斜角度的量化方法、电子设备及产品」正式进入专利的公布阶段。申请人为东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,该项计算专利涉及电子束成像及几何误差校正技术领域。据专利信息显示,该方法通过扫描电子显微镜获取具有三维旋转角度的棱锥形样品图像,结合差分滤波器、二值化处理及特征直线提取,并利用Nelder-Mead算法与最小二乘法解算出电子束倾斜角度,显著优化了解算精度和稳定性。发明人为李响、刘成成、韩春营。本发明能够消除样品旋转带来的几何误差,为量化电子束倾斜角度排除干扰,提高电子显微成像的准确性。
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