天眼查App显示,2025年8月12日,「一种半导体抛光盘制备方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为江苏先锋精密科技股份有限公司、无锡先研新材科技有限公司,该项磨削;抛光专利涉及半导体材料加工领域中的抛光盘制造流程。据专利信息显示,该方法使得抛光盘报废率显著降低,有效优化了加工成本。发明人为安飞、游利、管明月、陆浩、王枫、谯永鹏。本发明公开了一种半导体抛光盘制备方法,包括以下步骤:步骤一、机械加工;步骤二、真空钎焊;步骤三、水压测漏;步骤四、第一次去应力;步骤五、半精加工;步骤六、第二次去应力;步骤七、精加工;步骤八、对抛光盘进行静电粉末喷涂,喷涂膜厚均匀性为0.04mm;步骤九、成品检验;步骤十、合格入库。
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