天眼查App显示,2025年8月19日,「一种致密氧化钇涂层的喷涂工艺」正式进入专利公布阶段。申请人为安徽富乐德科技发展股份有限公司,该项材料镀覆专利涉及高端半导体制造领域防护涂层的制备技术。据专利信息显示,通过低温等离子体活化氧化钇粉末、优化喷砂参数及采用超音速火焰喷涂工艺,涂层孔隙率降低至1.5%以下,硬度提升达500HV0.3。发明人为李冲、贺贤汉、张继月。本申请通过分段式冷却方式减少内应力,并结合基于粒子沉积动力学的参数优化算法,在提升涂层性能的同时实现了经济性的平衡,解决了传统工艺孔隙率偏高的问题。
免责声明:本文内容由开放的智能模型自动生成,仅供参考。