2025年上半年，中微公司实现营业收入49.61亿元，同比增长43.88%；归属于上市公司股东的净利润7.06亿元，同比增长36.62%；基本每股收益1.13元。

报告期内，中微公司刻蚀设备销售约37.81亿元，同比增长约40.12%；LPCVD设备销售约1.99亿元，同比增长约608.19%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

截至2025年6月底，该公司累计已有6800+台等离子体刻蚀和化学薄膜的反应台，在国内外155条生产线全面实现量产和大规模重复性销售。

中微半导体设备（上海）股份有限公司是以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，2004年在张江高科技园区启动运营，为集成电路和泛半导体行业提供高端设备和高品质服务。中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。2025年3月，中微公司发布首款晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona。

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