中微公司发布2025年半年度报告显示，上半年公司实现营业收入49.61亿元，同比增长43.88%；归母净利润为7.06亿元，同比增长36.62%。

数据显示，中微公司上半年研发投入达14.92亿元，同比增长53.7%，占营业收入比重超过30%。公司新产品开发周期已从过去三年至五年缩短至两年或更短时间，目前在研项目覆盖六类设备。

在产品应用方面，中微公司等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米至5纳米及其他先进集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积）设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产。

公司近两年新开发的LPCVD（低压化学气相沉积）薄膜设备和ALD（原子层沉积）薄膜设备已有多款产品进入市场，并获得大批量重复性订单。

此外，中微公司将整合产业链上下游和相关资源作为另一发展重点，积极考虑投资和并购，以推动公司更快发展。公司预计未来五年到十年，通过自主研发以及携手行业合作伙伴，将覆盖集成电路关键领域超过60%的设备市场。

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