天眼查App显示，2025-09-19，「一种蒸镀设备」正式进入专利权的授权阶段。申请人为上海盛剑科技股份有限公司，该项真空镀膜技术专利涉及蒸镀过程中材料沉积均匀性与工艺适应性的优化场景。据专利信息显示，该设备通过调节机构驱动导流板运动，实现对蒸镀效果的精确控制，技术性能显著优化。发明人为张伟明;汪若凯。本实用新型提供的蒸镀设备包括设备主体、源罩壳、导流板、蒸发源及调节机构，蒸镀腔内设置有蒸镀基底；导流板与源罩壳连接并共同围成混合腔，蒸发源处于混合腔内，导流板上贯穿设置有将混合腔与蒸镀腔连通的导流孔；调节机构与导流板传动连接，用于驱动导流板在靠近或远离蒸镀基底的方向上运动，从而提升蒸镀过程的可控性与适应性。

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