天眼查App显示，2025-09-23，「竖直抛光装置及竖直抛光方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为华海清科股份有限公司，该项半导体制造专利涉及晶圆切口抛光技术场景。据专利信息显示，该装置通过转台带动吸盘组件在粗抛光头与精抛光头之间切换，实现粗抛和精抛同时进行，提升加工效率并显著优化碎屑排出性能。发明人为辛宇航;郭垒;周朝龙。本申请的技术方案实现了粗抛和精抛的同时进行，并且便于碎屑排出。

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