天眼查App显示，2025-09-23，「一种靶材矫正方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为广东江丰电子材料有限公司,宁波江丰电子材料股份有限公司，该项材料加工技术专利涉及靶材溅射面变形矫正与膜层均匀性控制的技术应用场景描述。据专利信息显示，该方法通过分区施压与闭环检测的设计，显著优化了复杂工况下的矫正适应能力，提升溅射镀膜工艺的产品良率与稳定性。发明人为姚力军;晏和楠;庄展业;唐子清;郭芬;范文新。本发明公开了一种靶材矫正方法，其属于材料加工技术领域，该方法包括步骤一、将产品放置在工作台；步骤二、通过矫正组件对产品长度方向的两端区域施加第一阶下压力进行矫正；步骤三、通过矫正组件对产品长度方向的中间区域施加第二阶下压力进行矫正；步骤四、通过检测组件测量产品表面的弯曲度状态，弯曲度状态分为合格或者不合格；若弯曲度状态为合格，则完成矫正过程；若弯曲度状态为不合格，则重复步骤二和步骤三。该方法通过分区施压与闭环检测的设计，不仅解决了靶材溅射面因变形导致的不平整问题，确保膜层均匀性，还具备自适应复杂工况、操作简便可靠的优势，提升溅射镀膜工艺的产品良率与稳定性。

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