近日，同济大学国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）研制的三项八英寸晶圆级标准物质获得国家二级标准物质证书。这三项标准物质分别为100nm一维光栅、200nm二维栅格及100nm凹陷缺陷标准物质，可为CD-SEM、AFM、缺陷检测设备等集成电路量检测设备提供可靠的量值标准，支撑周期测量、角度测量及典型缺陷检测等应用需求。

标准物质被称为‘测量砝码’，是化学、生物等领域统一量值、开展量值传递与溯源的主要载体。在集成电路制造中，其作用相当于纳米尺度下的‘标尺’，用于校准检测设备，解决‘测不准、测不精、测不全’的产业共性难题。

该中心由同济大学联合张江实验室于2024年起筹建，是全国集成电路领域首批获批筹建的国家产业计量测试中心之一。研制工作聚焦集成电路制造中的典型结构与缺陷，依托上海市市场监管局审批改革试点支持推进。

自2023年起，上海市市场监管局在全国率先承接国家二级标准物质审批改革试点，通过全要素现场审评、智能审批服务、电子证书同步制发及证书免费邮寄等举措提升审批效能。2023年上海在浦东新区和奉贤区率先试点颁发全国首张省级审批的国家二级标准物质定级证书；2025年7月，市场监管总局将该改革推广至上海全域及内蒙古、湖南、四川部分地区，并在新修订的《标准物质管理办法》中明确将二级标准物质审批权下放至省级市场监管部门。

试点以来，上海已颁发国家二级标准物质证书41张，覆盖标准物质56项。标准物质上市进度加快，带动集成电路、生物制造、生命健康、先进材料等先导与重点产业上下游企业参与研发生产，推动标准物质研制与产业组织方式创新。

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