三星有望年内引入自制EUV光罩护膜
据台湾电子时报,三星电子最快将在2023年内于极紫外光(EUV)光刻工艺中,引入三星研发的光罩护膜,这不仅能提升三星晶圆代工竞争力,也有望带动光罩护膜材料、零组件需求。(格隆汇)
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