5月21日，光刻机及光刻胶概念股出现局部异动。午后，西陇科学涨停，肯特催化涨幅超过7%。此外，瑞联新材、凯美特气、国风新材等个股跟涨。市场分析认为，相关板块上涨或受行业技术进展及需求增长影响。
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