在荷兰阿姆斯特丹举行的2025年技术论坛欧洲场中，台积电资深副总经理张晓强表示，公司目前暂无为先进制程导入High NA EUV的计划。他指出，最新公布的1.4nm级逻辑制程A14即便未采用High NA EUV图案化设备，性能提升依然显著。

张晓强强调，台积电正通过优化Low NA EUV技术，进一步拓展其在制程工艺中的潜力。只要这一路径能够持续进步，便无需依赖成本高昂的ASML High NA EUV系统。值得注意的是，英特尔在先进制程中对High NA EUV的应用也持谨慎态度，显示出行业对这一技术的实际需求仍需进一步评估。