近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所蔡艳研究员团队与欧欣研究员团队合作，成功开发出具备高速数据传输能力的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器。该器件基于‘万能离子刀’剥离转移技术，在六吋图形化SiN晶圆上集成高质量铌酸锂薄膜，形成无需刻蚀的混合波导结构，简化了工艺流程。此项研究为硅光平台与薄膜铌酸锂晶圆级异质集成的量产提供了技术基础。

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