1月29日,中科院新疆理化所潘世烈团队成功研制氟化硼酸铵(ABF)晶体,攻克大尺寸生长与器件加工难题。该团队采用双折射相位匹配技术,在国际上首次实现直接倍频真空紫外激光158.9nm输出。成果于北京完成验证,旨在支撑精密制造、先进光刻及基础物理等前沿领域。ABF晶体为全固态、紧凑型真空紫外激光器提供了关键材料基础,突破了长期依赖气体激光器或同步辐射光源的瓶颈。
免责声明:本文内容由开放的智能模型自动生成,仅供参考。
1月29日,中科院新疆理化所潘世烈团队成功研制氟化硼酸铵(ABF)晶体,攻克大尺寸生长与器件加工难题。该团队采用双折射相位匹配技术,在国际上首次实现直接倍频真空紫外激光158.9nm输出。成果于北京完成验证,旨在支撑精密制造、先进光刻及基础物理等前沿领域。ABF晶体为全固态、紧凑型真空紫外激光器提供了关键材料基础,突破了长期依赖气体激光器或同步辐射光源的瓶颈。
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