2026年1月12日，西门子完成对法国格勒诺布尔初创公司Canopus AI的收购，交易额约1.5亿至3亿欧元。Canopus AI成立于2021年，专注AI驱动的半导体量测与检测技术，首创“Metrospection”框架及交互式Mapbox类查看器，支持CD-SEM图像与HVM数据审查。西门子将整合其技术至Calibre软件生态，提升边缘放置误差（EPE）测量精度，助力亚纳米级工艺控制与良率爬升。此举旨在应对先进制程中器件微缩与量产扩大的双重挑战。

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