4月10日，合肥恒芯半导体科技有限公司完成天使+轮融资，由浙江省装备母基金旗下华睿装备子基金领投。本轮融资将用于半导体级臭氧发生器等核心产品交付及后续研发。恒芯半导体聚焦半导体制造核心工艺设备及零部件，重点布局臭氧相关设备、远程等离子体源（RPS）等产品线。此次投资是华睿装备基金2026年继航菱微之后，在高端半导体设备及零部件领域的第二次布局，旨在强化产业链关键环节自主能力。

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