硅来半导体发布10分钟/片SiC激光隐切设备

2026年4月下旬,硅来半导体在武汉举办的九峰山论坛上发布新一代碳化硅(SiC)激光隐切设备。该设备适用于8/12英寸SiC晶锭加工,单片切割时间由上代15分钟缩短至10分钟,提速50%。公司强调,效率提升未牺牲工程稳定性,剥离效果与分片一致性保持良好,后道工艺窗口基本不受影响,量产良率超98%。

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