2026年10月20日，Axcelis Technologies将在韩国京畿道平泽市举行新厂奠基仪式。该厂总投资3500万美元，建筑面积约20万平方英尺，配备仓储设施、1000级与10000级洁净室及培训中心，旨在强化其在亚太地区半导体制造装备供应能力。项目计划于2028年下半年正式投产，以满足全球晶圆厂对先进离子注入设备日益增长的需求。

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