天眼查App显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司近日公开了一项名为“旋转装置及热处理设备”的发明专利（专利号：CN202411411767.3）。该发明涉及半导体加工领域，旨在提高旋转装置的运动稳定性和减少颗粒物对工件质量的影响。旋转装置包括定子、转子和转台。定子设有第一安装孔及第一安装部，其中第一安装孔内设置有轴承；转子包括第二安装部和第二安装孔，第二安装部插设于定子的第一安装孔中；转台上设有第三安装孔，用于安装转子和定子。此外，转子与第三安装孔之间存在第一间隙，该间隙用于容纳并引导从第一安装孔溢出的颗粒物至出口，从而确保装置运行的稳定性，并有效减少颗粒物对工件质量的负面影响。该专利申请时间为2024年10月10日，预计公布日期为2025年1月10日。

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