图像传感器及其制造方法

天眼查App显示,合肥晶合集成电路股份有限公司近日公开了一项名为“图像传感器及其制造方法”的发明专利(专利号:CN202411785057.7)。该发明提供了一种改进的图像传感器结构及其制造工艺,旨在减少像素之间的光串扰问题,同时缩短入射光程,减少光损失,从而提升图像传感器的像素信噪比。具体而言,该技术包括在半导体基底上形成外延层,并在外延层内创建多个凹槽。这些凹槽的侧壁和底部覆盖有第一介质层,随后去除部分介质层以暴露外延层的部分区域,最终在这些暴露区域形成栅格结构。此方法有效提升了图像传感器的性能,适用于高分辨率成像设备。该专利申请于2024年12月6日提交,并于2025年1月10日公布。

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