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2025年2月18日，陕西斯瑞新材料股份有限公司公布了一项发明专利，涉及一种PVD半导体反应腔水冷板组件的制备方法及其组件。该专利申请于2024年11月28日提交，发明人包括唐升盼、刘锦慧、杨平、樊龙辉和赵翠萍。

关键点
- 专利名称：一种PVD半导体反应腔水冷板组件的制备方法及水冷板组件
- 专利号：CN202411723920.6
- 公布日期：2025年2月18日
- 申请人：陕西斯瑞新材料股份有限公司
- 地址：陕西省西安市高新区丈八七路12号
- 专利类型：发明专利
- 技术分类：机床；不包含在其他类目中的金属加工（B23P15/00）

如需了解更多详情或有合作意向，请联系陕西斯瑞新材料股份有限公司。

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