天眼查App显示，导语
中微半导体设备（上海）股份有限公司于2025年2月25日公布了其最新的发明专利，涉及一种下电极组件、等离子体处理设备及其电压控制方法。该发明旨在提升等离子体处理设备的性能和效率。
关键点
- 专利名称：一种下电极组件、等离子体处理设备及其电压控制方法
- 申请时间：2025年1月21日
- 公布日期：2025年2月25日
- 专利类型：发明专利
- 申请人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
- 发明人：田宁、叶如彬
- 分类号：H01J37/32, H01L21/67
- 地址：上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
- 代理机构：上海元好知识产权代理有限公司
此发明为等离子体处理设备提供了创新的解决方案，有助于提高生产效率和产品质量。
免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。
