天眼查App显示,江苏永鼎股份有限公司近日获得一项发明专利授权,涉及“一种外延前的晶圆表面缺陷检测方法及装置”。该专利由苏州市中南伟业知识产权代理事务所代理,授权日期为2025年2月28日。
关键点:
1. 专利名称:一种外延前的晶圆表面缺陷检测方法及装置。
2. 申请时间:2024年10月22日。
3. 授权日期:2025年2月28日。
4. 专利类型:发明专利。
5. 发明人:周莉、沈锋、陆佳腾、潘静雯、计忠华。
6. 所属领域:基本电气元件。
该专利的授权将进一步提升晶圆表面缺陷检测技术的研发与应用能力。
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