天眼查App显示,导语: 中芯北方集成电路制造(北京)有限公司与中芯国际集成电路制造(上海)有限公司联合申请的“晶圆盒和晶圆翻转装置”实用新型专利已获授权,专利号为CN202420344218.8,授权日期为2025年3月18日。
关键点:
1. 专利名称:晶圆盒和晶圆翻转装置。
2. 申请人:中芯北方集成电路制造(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司。
3. 授权日期:2025年3月18日。
4. 专利类型:实用新型专利。
5. 核心功能:晶圆盒和翻转装置可在不取出晶圆的情况下实现翻转,操作简便且避免污染。
该专利的授权将进一步提升晶圆制造过程中的效率与安全性。
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