天眼查App显示,导语: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司的一项发明专利于2025年4月11日公布,涉及晶圆移位识别方法、装置、设备、介质和产品。该专利旨在提高晶圆偏移检测的准确性,降低破损率。
关键点:
- 专利名称: 晶圆移位识别方法、装置、设备、介质和产品
- 申请人: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
- 申请时间: 2024年12月23日
- 公布时间: 2025年4月11日
- 核心内容: 利用共平面电容传感器布局,计算晶圆实际圆心偏移量,无需接触晶圆,光线条件要求低。
- 地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座
- 专利类型: 发明专利
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