海目星激光科技集团股份有限公司公布晶圆修复专利

天眼查App显示,导语:海目星激光科技集团股份有限公司于2025年4月11日公布了一项名为“晶圆修复方法、装置、设备及计算机可读存储介质”的发明专利,涉及激光加工技术领域。

关键点:
1. 专利内容:该专利提供了一种晶圆修复方法,通过控制激光器和振镜高效击落晶圆上的损坏芯片,提升修复效率。
2. 申请时间:专利于2025年1月21日提交申请。
3. 公布时间:专利将于2025年4月11日正式公布。
4. 专利类型:发明专利,专利号为CN202510094202.5。
5. 发明人:招茂森、彭信翰、王国安。
6. 代理机构:深圳市世纪恒程知识产权代理事务所。

该专利技术有望推动晶圆修复领域的激光加工效率提升。

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