中芯国际申请半导体结构形成方法及沉积设备专利

天眼查App显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司与中芯国际集成电路制造(上海)有限公司联合申请了一项发明专利,涉及半导体结构的形成方法及沉积设备。该专利已于2023年10月13日提交,预计于2025年4月15日公布。

关键点:
- 专利名称:半导体结构的形成方法、以及沉积设备
- 申请单位:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请时间:2023年10月13日
- 公布时间:2025年4月15日
- 技术核心:通过多次预沉积处理形成晶种层,提升栅极层质量,优化半导体结构性能
- 专利类型:发明专利
- 代理机构:上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

该专利技术通过优化沉积工艺,显著提高了半导体结构的性能,展现了中芯国际在半导体制造领域的技术创新实力。

免责声明:本文内容由开放的智能模型自动生成,仅供参考。

Copyright © DoNews 2000-2025 All Rights Reserved
蜀ICP备2024059877号-1