天眼查App显示，北京北方华创微电子装备有限公司于2025年1月22日申请了一项名为“半导体热处理设备”的发明专利，专利公布日期为2025年4月18日。该专利旨在解决半导体热处理设备中工艺气体与物料接触不充分的问题。
关键点：
- 专利名称：半导体热处理设备
- 申请人：北京北方华创微电子装备有限公司
- 申请时间：2025年1月22日
- 公布时间：2025年4月18日
- 专利类型：发明专利
- 核心内容：通过改进工艺内管、工艺外管及进气结构，提升工艺气体与物料的接触效率。
- 地址：北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构：北京国昊天诚知识产权代理有限公司
该专利的公布标志着北京北方华创在半导体设备领域的技术创新迈出重要一步。
免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。
